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中微公司全球第500台MOCVD设备成功交付!
编辑:雁枫 [ 2022-10-28 9:19:58 ] 中微
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近日,中微公司宣布其全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。

据悉,本批次运付的第500台MOCVD设备为中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax®,主要用于氮化镓基Mini-LED外延片量产。

中微公司介绍,作为专为高性能Mini-LED量产而设计的MOCVD设备,Prismo UniMax®具备高产能和高灵活性的特点,在同一系统中可配备多达4个反应腔,每个反应腔均可实现独立控制。

同时,Prismo UniMax®配置了785mm大直径石墨托盘,通过石墨托盘的不同设计配置,最多可实现同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片,有效提高产能并降低生产成本。

此外,Prismo UniMax®创新的多区辅助加热调节系统,能精确控制托盘局部区域温度,有助于更大程度提升LED波长均匀性。

中微公司表示,公司开发的一系列MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上已全面投入量产。

Prismo UniMax®是MOCVD设备系列新一代产品,该产品系列还包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。


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