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Micro LED显示器的基础 — 磊晶及芯片
编辑:雁枫 [ 2019-6-6 9:34:16 ] 文章来源:MicroLED产业研究
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 LEDinside最新的《2019 Micro LED次世代显示器关键报告》指出,Micro LED 技术不只亮度与对比效果超越 OLED,也同时具备反应迅速、低功耗与高可靠度特性,为移动与汽车应用带来新的可能。

然而,由于生产制程复杂,Micro LED显示屏幕的良率始终难以提升,且生产成本也仍高居不下,减缓了商业化的脚步。而其中一个挑战,便是Micro LED 芯片的质量。如果Micro LED芯片的质量够好,便能提升整体良率,也降低后续分选及检测修复阶段所需的时间成本。

Micro LED是微小化的 LED 芯片,因此对于磊晶晶圆在波长一致性与低瑕疵率的要求非常高。为达成Micro LED的需求,MOCVD 技术供应商便成为Micro LED晶圆阶段的重要角色。

MOCVD技术设备厂商与芯片厂合力发展 Micro LED 芯片

MOCVD 技术供应商AIXTRON与Veeco持续提升自家技术,以符合Micro LED技术的需求。AIXTRON表示,他们能够在6英寸晶圆片上,将瑕疵率降到每平方公分低于0.15。而在波长一致性方面,与传统LED所需的8-10 nm要求相比,Veeco的技术可以达成3-5nm的一致性。

这两家设备厂商也分别与LED芯片厂商密切合作,结合芯片厂商的技术,共同提升 Micro LED 芯片的效率与质量,加速生产放量。Veeco与德国Micro LED技术厂商ALLOS合作,已可稳定产出200 nm 氮化镓硅晶圆磊芯片。Veeco也与法国的Aledia合力研发应用于显示器的3D Micro LED。

此外,AIXTRON也分别提供MOCVD设备给中国台湾錼创及英国厂商Plessey生产 Micro LED芯片。AIXTRON在今年一月宣布与錼创签订Micro LED的生产合作协议。而錼创则提供Micro LED芯片给三星与天马的Micro LED显示器

AIXTRON的MOCVD设备

Plessey则采用AIXTRON的MOCVD技术生产用于Micro LED的氮化镓硅晶,也在今年的Display Week上展出应用于 AR设备的 Micro LED 显示器


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