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中电熊猫8.5代线IGZOTFT器件从ESL结构向BCE结构的重大转变
编辑:雁枫 [ 2017-7-24 8:55:35 ] 文章来源:数字标牌网
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近日,中电熊猫15.6BCE面板成功点亮。717日,15.6BCE面板在中电熊猫8.5代线成功点亮,中电熊猫2017年重点研发项目非晶态IGZO BCE制程量产工艺研究取得突破性进展!这标志着中电熊猫在IGZO技术领域的领先地位进一步确立,必将有力带动面板产品的高端化,对中国电子、中电熊猫平板显示产业创新发展具有重要意义。 

BCE结构(即背沟道蚀刻型结构)是IGZO TFT器件的一种结构类型。目前,中电熊猫8.5代线IGZO制程技术采用的是TFTESL结构(即刻蚀阻挡型结构),器件所占版图空间较大,不利于实现更窄的边框设计和更高的开口率;而BCE结构具有光刻次数少、器件小型化、制造成本低等优点,其技术开发量产有利于降低产品成本、实现高端产品开发、增强IGZO技术的市场竞争力。

此次15.6BCE面板成功点亮,标志着中电熊猫8.5代线IGZOTFT器件从ESL结构向BCE结构的重大转变,朝着IGZO BCE制程量产迈出了重要一步,将助推中电熊猫产品向更高分辨率的高端产品转型。 

今年2月起,中电熊猫正式启动非晶态IGZO BCE制程量产工艺研究项目,组建项目团队,开展项目攻关。项目实行分阶段闭环管理,定期开展阶段性成果测试与评价,实时监控项目进度和质量,先后解决了BCE制程中IGZO薄膜易腐蚀等关键性难题,完成了新靶材规格确认、新铜酸烧杯试验、mask设计、试生产等一系列工作,并于717日首次试做即成功点亮, BCE工艺的优化工作也随后完成。

南京中电熊猫液晶显示科技有限公司成立于20098月,总投资138亿元,注册资本48亿元,中国电子信息产业集团有限公司(CEC)占股19%;中电熊猫信息产业集团有限公司(中电熊猫,CEC占股70%)占股51%;南京新港开发总公司占股18.8%;南京新型工业化投资(集团)有限公司占股11.2%

六代线项目是CEC、中电熊猫和南京市贯彻落实国家电子信息产业振兴规划、实现彩电业转型升级、促进产业结构调整的战略举措,是我国大陆引进的第一条电视用液晶面板生产线,也是迄今世界上技术最先进的六代液晶面板生产线。为保障六代线项目的全球竞争力,六代线项目全面导入了夏普公司G8G10世界最新技术,具有技术先进、专利保障、投资节约、产业链垂直整合、技术再创新等方面优势。项目于2009111日正式进行桩基工程,20113月底建成投产。经过五个多月的生产爬坡,六代线项目所产32寸电视面板达到60K产能和90%良品率,12月实现80K产能和良品率93%的目标,产能和良品率爬坡速度均达到国际一流水平。


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